图书介绍

微系统原理与技术【2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载】

傅建中，胡旭晓编著著
出版社：北京：机械工业出版社
ISBN：7111157826
出版时间：2005
标注页数：224页
文件大小：26MB
文件页数：233页
主题词：微电机

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图书目录

前言1

第1章微系统概述1

目录1

1.1 微系统的基本概念与特点2

1.2 微系统的动力学及非线性特征4

1.2.1 微系统的力学特征4

1.2.2 微系统的动力学特征5

1.2.3 微系统动力学的非线性特征………………………………………………？1.3 微系统的应用前景7

参考文献9

第2章微尺度理论及效应10

2.1 微尺度固体力学10

2.1.1 塑性应变梯度理论的本构关系11

2.2 微尺度流体力学12

2.1.2 平衡变分关系12

2.2.1 微尺度流动特点13

2.2.2 微流体双电层效应14

2.2.3 微流体电渗流15

2.3 微尺度热传导17

2.4 微尺度理论的研究方法19

参考文献19

第3章微系统的设计技术21

3.1 微系统设计流程21

3.2 微系统设计方法22

3.2.1 微系统模块化设计22

3.2.2 微系统集成化设计24

3.3 微系统设计关键技术27

3.4.1 微系统CAD的体系结构29

3.4 微系统CAD29

3.4.2 MEMS CAD软件35

参考文献37

第4章微系统的制造技术38

4.1 光刻和刻蚀技术38

4.1.1 掩模制备39

4.1.2 薄膜沉积40

4.1.3 光刻43

4.1.4 湿法刻蚀44

4.1.5 干法刻蚀46

4.2 LIGA技术和准LIGA技术48

4.2.1 LIGA技术48

4.2.2 准LIGA技术50

4.2.3 LIGA、准LIGA技术的应用技术51

4.3.1 微细电火花加工技术53

4.2.4 LIGA技术的发展趋势53

4.3 微细特种加工技术53

4.3.2 微细电化学加工技术60

4.3.3 微细超声加工技术63

4.4 软刻蚀微加工技术66

4.4.1 软刻蚀的关键——弹性印章66

4.4.2 微接触印刷67

4.4.3 微模塑和相关技术69

4.4.4 近场光刻蚀74

4.4.5 多层软刻蚀74

4.4.6 软刻蚀的应用74

4.4.7 软刻蚀技术的发展趋势77

4.5 激光微细加工技术79

4.5.1 红外激光微细加工技术80

4.5.2 准分子激光微细加工技术87

4.5.3 飞秒激光微细加工技术88

4.6 微／纳米压印技术90

4.6.1 纳米压印技术的典型工艺91

4.6.2 纳米压印技术的演变工艺93

4.6.3 纳米压印过程建模97

4.6.4 纳米压印机100

4.6.5 纳米压印技术的应用101

4.6.6 纳米压印技术发展趋势104

参考文献107

第5章微系统的检测技术112

5.1 扫描探针显微镜（SPM）测量技术112

5.1.1 扫描隧道显微镜（STM）测量技术112

5.1.2 原子力显微镜（AFM）测量技术118

5.2.1 三维视觉检测原理121

5.2 三维微视觉检测技术121

5.2.2 图像的分割126

5.2.3 微机构中三维视觉技术127

5.3 微构件中干涉检测技术132

5.3.1 迈克尔逊干涉系统133

5.3.2 双频激光干涉系统135

5.3.3 激光双焦干涉系统137

5.3.4 扫描白光干涉系统140

5.4 微结构材料特性检测技术142

5.4.1 残余应力和弹性模量的测量143

5.4.2 刚度和硬度的测量145

5.4.3 抗拉强度和失效应变的测量147

5.4.4 热导率和热扩散率的测量149

参考文献151

第6章微系统的集成及控制技术153

6.1 微传感器系统153

6.1.1 压阻式压力微传感器系统154

6.1.2 力平衡式硅微加速度传感器系统157

6.2 微传感器信息融合159

6.2.1 两个参量的微传感器信息融合159

6.2.2 三个参量的微传感器信息融合161

6.2.3 阵列式气敏传感器的信息融合162

6.3 微传感器系统的自检、自适应、自学习164

6.3.1 微传感器系统的自检和自适应功能164

6.3.2 微传感器系统的自学习功能171

6.4 微致动器及其控制技术174

6.4.1 静电致动175

6.4.2 压电致动177

6.4.3 电磁致动181

6.4.4 热致动器184

6.5 微进给驱动器及其应用186

6.5.1 压电陶瓷驱动器及其特点187

6.5.2 压电陶瓷驱动器在步进扫描光刻机工件台中的应用189

6.6 微电子组装技术及MEMS封装197

6.6.1 微电子组装技术197

6.6.2 MEMS封装210

参考文献211

第7章典型微系统——芯片实验室213

7.1 典型芯片实验室213

7.2 芯片实验室中的器件设计216

7.3 著名的芯片实验室研究机构222

参考文献224